Corial

Фирма Corial производит системы травления типа RIE (реактивно-ионное травление), ICP (индуктивно спаренная плазма) и системы осаждения диэлектриков

Предлагаем ознакомиться с продукцией фирмы:

О фирме Corial (презентация на английском, MS PowerPoint, 1,2 Мб)
Обзор процессов, предоставляемых продукцией фирмы (презентация на английском, MS PowerPoint, 3,6 Мб)
Основные виды установок фирмы (описание на английском, MS Excel, 1,6 Мб)

Установки реактивно-ионного травления:

Corial 200M (презентация на английском, MS PowerPoint, 900 Kб)
Corial 200ML (со шлюзом) (презентация на английском, MS PowerPoint, 1,1 Мб)
Corial 200R (описание на русском, MS Word, 330 Кб)
Corial 200RL (со шлюзом) (презентация на английском, MS PowerPoint, 860 Кб)
Corial 200RL-SAW (для ПАВ) (презентация на английском, MS PowerPoint, 480 Кб)
Corial 300 (презентация на английском, MS PowerPoint, 360 Кб)
Corial 700 (презентация на английском, MS PowerPoint, 320 Кб)

Установка индуктивно спаренной плазмы:
Corial 200IL (со шлюзом) (презентация на английском, MS PowerPoint, 1 Мб)

Установка осаждения диэлектриков:
Corial D250 (презентация на английском, MS PowerPoint, 2,3 Мб)
Corial D250 (описание на русском, MS Word, 60 Kб)

Установка анализа ошибок:
Corial 21-FA (презентация на английском, MS PowerPoint, 156 Кб)

Установка травления нитрида галия:
Corial 22GaN (презентация на английском, MS PowerPoint, 156 Кб)

Evatec

Фирма Evatec является преемником Balzers по производству и поставкам систем типа ВАК, используемых в полупроводниковом и оптических производствах при нанесении тонкопленочных материалов на подложки путем электронно-лучевого испарения и/или термального испарения.

В настоящее время выпускаются системы

• BAK501 - Загрузить презентацию новой системы BAK501 (5,5 Мб)
• BAK641 - Загрузить презентацию новой системы BAK641 (3,3 Мб)
• BAK640
• BAK760
• BAK EVO
• BAP800
• другие...

Evatec начал 28 июня 2005 года выпуск более компактных систем нового поколения типа ВАК641 и ВАК761, которые лучше отвечают современным требованиям.

Suss MicroTec

Фирма выпускает системы нанесения и проявления фоторезиста, контактной литографии, бондеры для подложек и флип чип, зондовые системы.

Предлагаем ознакомиться с продукцией фирмы:

О фирме Suss MicroTec (презентация на английском, MS PowerPoint, 13 Мб)
Обзор выпускаемой продукции фирмы Suss MicroTec (презентация на английском, MS PowerPoint, 56 Мб)

Установки совмещения:
MJB4 (описание на английском, Acrobat reader, 1 Мб)
MJB4 (описание на русском, MS Word, 0,7 Мб)
MA6/MA8 (описание на английском, Acrobat reader, 0,8 Мб)
MA6/MA8 (описание на русском, MS Word, 0,6 Мб)